Imec ontvangt zeldzame ASML-machine van 400 miljoen dollar

2026-03-18 economie

Veldhoven, woensdag, 18 maart 2026.
Het Belgische onderzoekscentrum imec heeft dinsdag een van de zeldzaamste chipmachines ter wereld ontvangen van ASML. Het High NA EUV-systeem kost ongeveer 400 miljoen dollar en er bestaan wereldwijd minder dan twaalf van deze machines. De installatie in Leuven stelt imec in staat om chips kleiner dan 2 nanometer te ontwikkelen voor kunstmatige intelligentie en geheugenopslag. Het systeem kan circuits maken die 66 procent kleiner zijn dan met huidige technologie mogelijk is. Bedrijven zoals Intel en SK Hynix willen deze technologie vanaf 2027 gebruiken voor de volgende generatie AI-chips. De machine maakt deel uit van het NanoIC-project dat wordt gesteund door 2,5 miljard euro aan Europese financiering via de EU Chips Act.

Samenwerking Veldhoven-Leuven blijft bestaan

Het gezamenlijke ASML-imec High NA EUV laboratorium in Veldhoven blijft operationeel ondanks de verhuizing van het systeem naar Leuven [1]. De twee bedrijven hebben de afgelopen twee jaar samen gewerkt aan de ontwikkeling van High NA EUV-technologie in Veldhoven [1]. Deze samenwerking is onderdeel van een vijfjarig strategisch partnerschap tussen imec en ASML dat wordt gesteund door de EU, de Vlaamse regering en de Nederlandse regering [1]. Het behoud van het laboratorium in Veldhoven waarborgt de continuïteit van onderzoeks- en ontwikkelingsactiviteiten voor deze baanbrekende technologie [1].

Impact op Europese chipindustrie

Het High NA EUV-systeem speelt een belangrijke rol in het versterken van Europa’s positie als leider in geavanceerd semiconductoronderzoek [1][6]. Luc Van den hove, CEO van imec, verklaart dat de machine een centrale rol zal spelen bij het versterken van Europa’s positie als leider in geavanceerd semiconductoronderzoek in de komende decennia [1][8]. Het systeem maakt deel uit van de EU-gefinancierde NanoIC-pilootlijn [1][6]. NanoIC is een pan-Europees project dat wordt gehost door imec, samen met toonaangevende onderzoeksinstituten CEA-Leti, Fraunhofer-Gesellschaft, VTT, Tyndall National Institute en CSSNT-UPB [6]. Samen bouwen zij Europa’s meest geavanceerde semiconductor R&D-infrastructuur en talentpipeline voor technologieën kleiner dan 2 nanometer [6].

Technische doorbraak naar ångström-tijdperk

Christophe Fouquet, CEO van ASML, benadrukt dat imec’s installatie van de EXE:5200 een belangrijke stap markeert naar het ångström-tijdperk [1]. Het High NA EUV-systeem vertegenwoordigt een kritische stap naar het ångström-tijdperk door patterning mogelijk te maken met ongekende resolutie voor semiconductortechnologieën kleiner dan 2 nanometer [6]. Het systeem stelt imec en partners in staat om sub-2nm logica en hoge-dichtheid geheugentechnologieën te ontwikkelen [1]. De machine wordt direct geïntegreerd met geavanceerde patterning- en metrologie-apparatuur [8]. Dit zal leercycli versnellen en imec en zijn wereldwijde partnerecosysteem in staat stellen de prestaties te ontgrendelen die nodig zijn voor sub-2nm logica en hoge-dichtheid geheugentechnologieën [8].

Wereldwijde schaarste van geavanceerde machines

ASML is het enige bedrijf dat EUV-lithografiemachines produceert [7]. Deze machines worden gebruikt om circuits op chips te printen op extreem kleine schaal [7]. De nieuwe High NA-versie verbetert dit proces door functies mogelijk te maken die tot 66 procent kleiner zijn [7]. Het High NA EUV-systeem is gewaardeerd op ongeveer 400 miljoen dollar [2]. Er bestaan wereldwijd minder dan een dozijn van deze machines [2]. ASML heeft eerder bevestigd dat High NA EUV-systemen klaar zijn voor commercieel gebruik na jaren van testen [7].

Tijdlijn en commerciële verwachtingen

Imec verwacht dat het EXE:5200 High NA EUV-systeem volledig gekwalificeerd zal zijn tegen het vierde kwartaal van 2026 [1]. Bedrijven zoals Intel en SK Hynix bereiden zich voor om deze technologie te gebruiken voor AI- en geheugenchips al in 2027 [7]. Over de komende maanden zal het systeem worden geassembleerd en geïntegreerd in imec’s 300mm cleanroom [4][8]. Bredere adoptie wordt verwacht in de komende jaren te beginnen [7]. Het systeem zal de voortzetting van schaalbaarheid van AI en high-performance computing ondersteunen [8].

Strategische betekenis voor chipecosysteem

Imec werkt al lang samen met grote apparaatfabrikanten zoals ASML, Applied Materials en Tokyo Electron [7]. De rol van imec is om ervoor te zorgen dat nieuwe tools samenwerken voordat ze massaproductie bereiken [7]. Dit maakt het een belangrijk onderdeel van het wereldwijde semiconductorecosysteem [7]. Imec’s High NA-omgeving is uniek omdat het niet toegewijd is aan één bedrijf, maar gebouwd is voor een breed wereldwijd partnerecosysteem dat samenwerkt om semiconductorinnovatie vooruit te helpen [4]. Het project wordt gesteund door ongeveer 2,5 miljard euro aan financiering, inclusief steun van de EU Chips Act [7]. Imec heeft meer dan 6.500 werknemers en rapporteerde in 2024 een omzet van 1,034 miljard euro [1].

Bronnen

chipproductie lithografie